提到MEMS传感器，大家最容易想到的就是以汽车安全气囊应用为代表的汽车应用和其他一些工业应用，而现在随着MEMS传感器越做越小，价格越来越低，能效越来越高，其设计和应用空间也不断扩大，在越 ...
MS/NEMS在全球蓬勃发展，中国大陆作为一个重要的市场也必然有迅速的发展。本刊首次对国内知名的MEMS/NEMS企业做了统计，以对行业发展状况进行初步的分析。本次统计了28家大陆MEMS研发企业，既包 ...
可以通过各种燃料进行供电的片上燃料电池日前由日本科学家发明。据称，可通过选择不同的燃料适应笔记本电脑、移动电话等的应用。
目前许多研究小组正在努力将常规燃料电池微型化，但迄今 ...
三星电子公司目前正在开发一款专用于紧凑型数码相机的MEMS快门，并已在相关学术会议上进行过报导。
该MEMS快门为直径2.2mm的圆形，通过在玻璃基板上成型薄膜实现。即在玻璃基地上采 ...
陀螺仪是一种能够精确地确定运动物体方位的仪器，它是现代航空、航海、航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其他高科技的发展具有十分重要的战略意义 ...
从2007年到2012年，MEMS市场的年复合增长率将达到14%。为了满足市场需求，MEMS企业和Foundry（晶圆代工厂）都在提高生产制造水平，扩大自己的产能。而MEMS的制造也将从现在的5英寸和6英寸线 ...
1 引言
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般为机械式，体积比较大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...
1 引言
MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优 ...
1 引言
风速及风向的测量是气象观测中重要的一环。风速风向可以基于流体力学原理、热学原理、声学原理和仿生学原理来测量。热式测风仪基于风对热体的对流作用来测量风速和风向，其存在一个 ...
一、引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成 ...
MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS是一种全新的必须同 ...
