1 引言
气相色谱法(GC)是英国生物化学家MartinATP等人在研究液液分配色谱的基础上，于1952年创立的一种极有效的分离方法，它可分析和分离复杂的多组分气体混合物。目前的气相色谱系统主要包 ...
对MEMS振荡器的已超过四十个年头，然而最近才走向商用化，其中最大的一个障碍是开发一种经济并足够纯净的密闭封装系统。MEMS振荡器必须密封于非常洁净的环境，因为即使极小的表面污染物也会明显 ...
EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器｡文中根据频闪成像原理,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路,该驱动电路可驱动高亮LEC,以产生MEMS动态测试中所需的频闪 ...
Leon Foucault在1852年发明了世界首个陀螺仪，这种传统的机械式陀螺仪如图1所示。Foucault认为，利用固定位置上的旋转物体可以测量地球的旋转。在理论上他的想法是正确的，但当时他只能让物体保 ...
一、引言
微机械惯性器件是微机电系统重要的研究内容,微惯性器件包括微陀螺和微加速度传感器。采用微机电技术制造的微加速度传感器在寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都要大大优于常规 ...
mems （微机电系统）传感器;有三项MEMS技术产品：红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器;
1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特 ...
针对移动应用的天线设计正变得越来越复杂，需要灵活的MEMS技术来满足集成新特性和新应用的要求。
电视接收等新应用和新特性被不断地集成到无线器件中。此外，无线技术，包括局域网（Wi-Fi） ...
单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制 ...
最近几年利用微机电系统（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技术，在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注，主要原因移动电话与WLAN（Wireless Local Wireless Network）等无线通信 ...
许多MEMS器件，像加速度计、机械共振器件等，都需要在真空环境下才能实现设计功能。然而检验封装腔体是否达到了所要求的真空程度一直一来都是个棘手的问题。密歇根大学Khalil Najafi教授研究小 ...
跌倒探测仪适用于自理能力和自我保护能力比较差的老年人和儿童，它通过测量佩戴该仪器的个体在运动过程中的三个正交方向上的加速度来感知其身体姿态的变化，并可按照需要进行报警和发布。
跌 ...
提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟了热电堆的温度分布，三明治结构热电堆 ...
