近阵子由于iPhone 4走红，许多媒体纷纷宣扬iPhone将引爆传感器题材商机，在报导描述中也用上了热门的技术名词：微机电系统（MEMS），期望使题材能更热。
文章用上MEMS传感器的称呼，使许多 ...
虽然MEMS(微电子机械系统)技术被用于安全气囊和汽车压力传感器领域已有二十年左右，但却是任天堂Wii和苹果iPhone的热销使人们更广泛地了解惯性传感器的用途，这些产品使用了基于运动感测技术的 ...
1 引言
相干布居俘获CPT(Coherent Population Trapping)是原子与相干光相互作用所产生的一种量子干涉现象。利用高分辨CPT光谱研制出的被动型CPT原子频标具有体积小、功耗低、启动快等特点。 ...
高速发展的电子及其制造技术使微机电系统（Micro-Electro-Mechanical-SySTems ，MEMS）迅速普及。其实基于MEMS技术的加速度传感器、压力传感器、陀螺仪等已经有30余年的应用历史，但由于技术和 ...
1 引言
随着光通信技术的迅速发展，MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点，将成为核心光交换器件的主流。其静电驱 ...
MEMS即微机电系统，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利用被称为“微加工”的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。
因为技术和经济的原因 ...
硅微加速度传感器是。MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使 ...
引言
加速度传感器一直是振动测试中的重要元件。ADXL203加速度计是美国模拟器件（ADI）公司的新型单芯片双轴传感器，测量范围是±1.7g.可以承受3500g振动冲击。相对于传统的加速度计，他的 ...
摘要：RF MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得MEMS金属桥与共面波导信号线在 ...
随着苹果iPhone和任天堂Wii游戏机的流行，加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如，笔记本中的跌落保护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、轻敲手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等 ...
硬盘读写头、微显示器（Microdisplays）和微量喷墨头,目前占据着70%以上的MEMS市场。而汽车电子、移动通讯、消费电子、以及医疗检测等领域,将是MEMS技术产业化应用的新热点。ST微电子MEMS事业单 ...
