给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理，采用MEMS工艺，研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 rn ...
流量传感器是众多医疗设备的关键器件，它被用来监视气体输出量以确保流量精确。目前可用的流量传感技术主要包括压差传感、正排量传感及叶轮传感。与那些不包含集成的信号放大与温度补偿电路的测 ...
iPhone和任天堂Wii游戏机的流行，加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如，笔记本中的跌落保护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、轻敲手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等。这些应 ...
1 引 言
近几年，基于电化学原理的安培酶免疫检测发展迅速，在食品工业、环境监测与处理、生物技术及临床诊断等领域都有着广泛的应用。
利用抗原抗体之间的特异性亲和作用以及酶的催 ...
意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实现了两全其美：更小尺寸、更低价格 ...
尽管2009年全球经历了空前的经济危机，但是MEMS市场并没有受到影响，市场总值几乎与2008持平，出货量比2008年同期增长大约10%，这些数据表明，MEMS在消费电子市场的渗透率正在不断提高。据市调 ...
近几十年以来，电气传感器一直作为测量物理与机械现象的标准设备发挥着它的作用。尽管它们在测试测量中无处不在，但作为电气化的设备，他们有着与生俱来的缺陷，例如信号传输过程中的损耗，容易 ...
近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低 ...
物体在运动中的倾角是描述物体运动状态、特征的重要参数，在交通、航天、军事领域中都有着重要的意义，对目标的定位、追踪起到非常重要的作用。所以开发价格适中、精度高，测量范围大的角度测量 ...
所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展，而且与之前的产品相比，更加精确也更稳定。有的时候，这些传感器使用起来并不简单。面向这些传感器的调节电路设计师，经常发现此类电路的开发多少 ...
Benedetto Vigna，意法半导体
意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实 ...
近阵子由于iPhone 4走红，许多媒体纷纷宣扬iPhone将引爆传感器题材商机，在报导描述中也用上了热门的技术名词：微机电系统（MEMS），期望使题材能更热。
文章用上MEMS传感器的称呼，使许多 ...
