三星电子公司目前正在开发一款专用于紧凑型数码相机的MEMS快门，并已在相关学术会议上进行过报导。
该MEMS快门为直径2.2mm的圆形，通过在玻璃基板上成型薄膜实现。即在玻璃基地上采 ...
陀螺仪是一种能够精确地确定运动物体方位的仪器，它是现代航空、航海、航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其他高科技的发展具有十分重要的战略意义 ...
从2007年到2012年，MEMS市场的年复合增长率将达到14%。为了满足市场需求，MEMS企业和Foundry（晶圆代工厂）都在提高生产制造水平，扩大自己的产能。而MEMS的制造也将从现在的5英寸和6英寸线 ...
1 引言
大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候分析、环境监测、航空航天等方面发挥着不可替代的作用。传统的压力传感器一般为机械式，体积比较大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...
1 引言
MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优 ...
1 引言
风速及风向的测量是气象观测中重要的一环。风速风向可以基于流体力学原理、热学原理、声学原理和仿生学原理来测量。热式测风仪基于风对热体的对流作用来测量风速和风向，其存在一个 ...
一、引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成 ...
MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS是一种全新的必须同 ...
在仿生推进机理的研究中，精确测量鱼类尾鳍拍动参数对于鱼类仿生推进机理研究及工程应用具有重要的意义；然而，目前研究者大多采用分析高速摄像机拍摄的图像获得参数的观测方法。这种方法受到环 ...
作为中国最早做传感器的专家之一，上海传感器协会秘书长颜重光表示如今国内MEMS产业化仍然不够成熟，尤其是加工方面与国外存在着较大差距。 颜重光指出，MEMS与机械类传感器相比，精度相 ...
随着苹果iPhone和任天堂Wii游戏机的流行，加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如，笔记本中的跌落保护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、轻敲手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等 ...
