作者：意法半导体（ST）公司 Vishal GOYAL
MEMS（微机电系统）传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎。MEMS传感器是系统级封装解决方案，具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸 ...
引言
步进电机广泛应用于对精度要求比较高的运动控制系统中，如机器人、打印机、软盘驱动器、绘图仪、机械阀门控制器等。目前，对步进电机的控制主要有由分散器件组成的环形脉冲分配器、 ...
作者：Jay Esfandyari（意法半导体）, Massimo Mascotto, Gang Xu
摘要
随着MEMS传感器的设计和制造工艺的进步，MEMS压力传感器被广泛用于医疗、汽车和消费电子等应用领域。例如，压力传 ...
首先简介ADIS16355AMLZ型MEMS的原理、构成及应用。在此基础上，搭建一个硬件平台，采用内置USB控制器的AT89C513lA型单片机作为主控制器，控制ADIS16355AMLZ并采集、存储数据。并对惯性测量组件 ...
作者：Roger H.Grace Mary ann maher
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几乎占去了所有物料和组装成本的20%～40% ...
本文论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMS CAD 系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马 ...
日立显示器2010年10月4日面向新闻媒体公开了采用美国Pixtronix自主开发的技术试制的MEMS显示器。该显示器在位于千叶县茂原市的第4.5代(玻璃底板尺寸为730mm×920mm)低温多晶硅生产线上试制成功 ...
为了说明什么是微机电系统MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)，首先来解释一下什么是机电系统。20多年以前，汽车还是一个单纯的机械系统，后来随着电子技术的发展，汽车的很多零部件(例如 ...
在高速DWDM系统中，传输信道的色散会因温差而产生变化，使得传统色散补偿光纤难于应付。本文介绍了一种基于MEMS的可调色散补偿仪并详细讲述其工作原理，利用它可以实现真正的多信道色散补偿。
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MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成 ...
电信业的需求促使了其发展方向以光层架构成本的大幅度下降为目标，而该目标的核心就是要减少不必要的光电转换。高度可重构的无阻塞全光交叉连接器（OXC）注定要成为降低成本的一个关键部件，并 ...
以微机电系统(MEMS)集成电路(IC)形式实现的运动传感器正在蜂窝手持设备的未来发挥关键作用，这些MEMS加速计使移动电话更便于使用，而且还能够提高手持设备的可靠性。由于采用MEMS可以提高灵敏度 ...
