一、引言
微机械惯性器件是微机电系统重要的研究内容,微惯性器件包括微陀螺和微加速度传感器。采用微机电技术制造的微加速度传感器在寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都要大大优于常规 ...
mems （微机电系统）传感器;有三项MEMS技术产品：红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器;
1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特 ...
针对移动应用的天线设计正变得越来越复杂，需要灵活的MEMS技术来满足集成新特性和新应用的要求。
电视接收等新应用和新特性被不断地集成到无线器件中。此外，无线技术，包括局域网（Wi-Fi） ...
单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制 ...
最近几年利用微机电系统（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技术，在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注，主要原因移动电话与WLAN（Wireless Local Wireless Network）等无线通信 ...
许多MEMS器件，像加速度计、机械共振器件等，都需要在真空环境下才能实现设计功能。然而检验封装腔体是否达到了所要求的真空程度一直一来都是个棘手的问题。密歇根大学Khalil Najafi教授研究小 ...
跌倒探测仪适用于自理能力和自我保护能力比较差的老年人和儿童，它通过测量佩戴该仪器的个体在运动过程中的三个正交方向上的加速度来感知其身体姿态的变化，并可按照需要进行报警和发布。
跌 ...
提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟了热电堆的温度分布，三明治结构热电堆 ...
给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理，采用MEMS工艺，研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 rn ...
流量传感器是众多医疗设备的关键器件，它被用来监视气体输出量以确保流量精确。目前可用的流量传感技术主要包括压差传感、正排量传感及叶轮传感。与那些不包含集成的信号放大与温度补偿电路的测 ...
iPhone和任天堂Wii游戏机的流行，加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如，笔记本中的跌落保护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、轻敲手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等。这些应 ...
1 引 言
近几年，基于电化学原理的安培酶免疫检测发展迅速，在食品工业、环境监测与处理、生物技术及临床诊断等领域都有着广泛的应用。
利用抗原抗体之间的特异性亲和作用以及酶的催 ...
