佳能纪念其首台光刻机诞生50周年：如今的佳能光刻机怎么样了？
发布时间：2020-2-5 15:05
发布者：eechina
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话说，生产光刻机的荷兰ASML公司正在备受煎熬。中芯国际向他们订购了一台EUV光刻机，可发货过程遭到了美国人的阻挠。卖，还是不卖，这对ASML来说的确是个问题。 我们先让荷兰人纠结一会儿。我们今天谈的是另一家光刻机生产商：佳能。 我们知道，除了荷兰的ASML，还有两家日企也生产光刻机：尼康和佳能。但如今，只有ASML才能生产最尖端的EUV光刻机。半导体产业不仅需要最高端设备，还需要一些多样化的设备，所以这两家日企的存在仍然具有重要价值。近日，佳能光学设备（上海）有限公司董事长兼总经理牧野晶先生和佳能光学设备（上海）有限公司副总经理五十岚文生先生在2020年佳能半导体业务50周年纪念媒体沟通会上向我们介绍了该公司的发展历史和最新状况。 佳能光刻机发展历程 50年前，即1970年，佳能推出了日本国内首台半导体光刻设备PPC-1，并顺应半导体制造业的要求逐步推出了其他类型的设备。特别是1978年，佳能推出了PLA500、600型号设备，这是真正意义上第一台日本半导体制造工厂的量产设备。之后，1981年佳能又推出了MPA500、600系列设备。 1984年，佳能推出了G line（G线）步进式光刻机FPA-1550，该设备也是目前佳能步进式光刻机最早的一个原型。在此之后，随着半导体工业对于线宽更精细化的要求，佳能在1990年和1996年相继推出了I line（I线）的步进式光刻机和Krf扫描式光刻机。 除了半导体生产设备，佳能还生产显示面板生产设备。佳能在1986年推出第一台MPA1500，该设备实际上是MPA500、600设备的改进，即采用了半导体光刻机的技术，用来制造更大尺寸的面板。 回头再说半导体。2001年，佳能推出了针对12寸晶圆的光刻设备，在这之后又推出了12寸晶圆用的Krf步进式扫描式光刻机设备。在2017年佳能也推出了世界上第一台纳米级别的量产压印设备。 和半导体设备类似，随着显示面板对于尺寸的不断变大的需求，佳能的显示面板设备也在不断地进化。佳能最新的进展是2018年推出的H1003新型设备，用于第八代显示面板。 截至2019年年底，佳能的显示面板光刻机和半导体光刻机的销售量已经将近5600台。 佳能的半导体光刻机战略 由于物联网的发展，市场对于半导体器件的需求也正在变得越来越多样化。除了存储器、中央处理器等核心器件，我们生活中需要越来越多的传感器及电源控制等芯片，目前这方面的需求在不断增长。同样，显示屏应用的需求也在增长。过去，佳能比较熟悉的是电视机产业对于显示屏的需求。目前，越来越多的新应用对于显示屏的需求也是在不断地增加。 对于半导体设备的发展，我们通常沿着“摩尔定律”来思考，即线宽做得越来越细。实际上，还存在“超越摩尔”的部分，也就是它不单纯地追求更小的线宽，而是在现有的线宽水平上制作出新的器件，如前面提到的传感器，这种器件今后会更大量的应用。针对各个细分市场的不同的要求，佳能也开发了不同的设备。 简单地说，佳能的半导体光刻设备产品线包括：I线光源（365nm波长）光刻机、Krf光刻机（248nm波长）以及佳能在2018年推出的世界上首台纳米压印量产设备。 牧野晶先生特别介绍了佳能的3030系列设备，其前身是二代设备3000。佳能公司在上世纪90年代开发的这台设备，当时是用来做普通的半导体设备。随着物联网应用的兴起，市场对新材料（如砷化镓、氮化镓）器件的需求越来越多。针对这一市场，佳能把90年代开发的设备进行了复刻，开发了这个叫3030的设备。该半导体光刻机的特别之处在于，它可针对客户的不同需求提供各种不同产品线，这是佳能光刻设备战略最大的一个特点。 显示屏相关的光刻设备也存在类似的情形。例如手机屏，有高像素的要求，也有大尺寸的要求。针对不同尺寸的面板制造，以及不同解析度的面板制造要求，佳能都有相应规格的设备可以提供给客户。 佳能集团和中国市场 佳能集团公司是一个全球性的公司，在全球各地有自己的分支机构，在各地有相关的业务。整个佳能集团在全球有将近20万员工。佳能集团主要业务集中在欧洲、亚太地区还有美国等地区。目前佳能在中国地区也很多业务，其办事处遍布于国内共18个主要城市。佳能中国总部设在上海。 佳能认为全世界对半导体的需求在不断增加的。对于中国市场，佳能认为是一个非常有潜力的市场。佳能的光刻机设备目前是在日本国内生产的，但是佳能在中国也设立了其他许多产品的工厂。 佳能公司所有的半导体光刻设备都可以面向中国客户销售。目前中国市场上客户使用最多的是2000年开始销售的I line的5500系列步进式光刻机，到目前为止将近20年了，现在也是不断地推出一些新的型号，对它进行改进和改良。佳能I线这一块细分市场的份额达到80%。 佳能针对整个全球市场在做产品的规划和布局，并没有单独地针对中国市场去做一款特别定制的设备，只在中国销售的设备。但是同时，佳能也知道中国半导体市场是一个需求非常多样化的市场。 佳能认为在2020年中国的半导体设计可以首先达到世界上一流水平，但半导体芯片制造还是存在一些差距的。半导体芯片的制造设备和材料是全球共通的，是可以购得的（实际上不见得如此），中国的资金也是不用怀疑的。比较大的难题是工艺和人才。当然中国有非常优秀的人才，但是面对大规模集成电路制造工艺的飞速发展，目前中国储备的这些资源，并不能够完全跟上这个发展的速度。 关于中国市场的特殊需求，牧野晶先生举例说，中国有厂家希望在硅基板上做显示器。实际上世界上其他地方也有类似需求，但通常是做研发或小量的开发。中国客户真的有量产计划，这样的需求目前只有中国有。他说，也许佳能现有的设备不能立即满足客户的要求，但佳能在与这些客户做一些非常详细的技术交流，佳能还是认为是有可能性的，会尽最大的努力为客户提供相应的解决方案。通过这类案例，佳能看到了中国客户独特的创新精神，这也是佳能认为中国半导体产业将来一定会发展得好的原因之一。 |
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