SK海力士为半导体工艺引入AI解决方案

发布时间：2023-1-11 14:43 发布者：eechina

来源：集微网

据韩联社报道，SK海力士今（10）日表示，其已开始通过在半导体工艺中引入人工智能 (AI) 解决方案来提高生产效率和良率。

SK海力士投资的AI公司Gauss Labs在去年11月推出一种名为“PanoPtesVM（虚拟仪器）”的虚拟计量方案，并在去年12月在引入半导体制造并量产。

据悉，Panoptes VM方案涉及芯片上覆盖薄膜的关键工艺，即将计算方案引入薄膜沉积工艺，利用传感器数据预测制造过程的结果。据悉，薄膜厚度和折射率与半导体质量直接相关，但在薄膜中测量需要大量的时间和资源，难以测量。报道指出，半导体工艺引入的Panoptes VM，可使良率平均提高了21.5%。

SK海力士制造和技术副总裁金永式表示：“我们与高斯实验室的合作致力于实现更智能化的智能工厂，我们将在整个半导体开发和生产中融入人工智能技术，确保技术优势。”