全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"投入应用测试 填补量子芯片研发关键装备空白
发布时间：2025-8-15 10:31
发布者：eechina
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近日，由浙江大学与余杭量子研究院联合研发的全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"在杭州城西科创大走廊正式进入应用测试阶段，标志着我国在纳米级精密加工装备领域取得重大突破。这台被誉为"量子芯片中国刻刀"的高端设备，凭借0.6纳米的超高分辨率和8纳米线宽加工能力，成功打破国际技术垄断，为量子计算、新型半导体等前沿领域提供了自主可控的工艺平台。 "羲之"电子束光刻机采用直写式曝光技术，通过高能电子束直接在硅基材料上"书写"电路图案，无需传统光刻必需的掩膜版，特别适用于量子芯片超导电路、碳基二维材料器件等研发初期的设计验证与反复调试。测试现场数据显示，该设备在浙江大学余杭量子研究院运行稳定，其加工精度达到国际主流设备水平，但成本显著降低，已吸引包括华为海思在内的多家企业和科研机构接洽合作。 作为浙江省重点实验室孵化项目，"羲之"的成功研制是科技创新与产业创新深度融合的典范。依托浙江大学在电子光学、精密控制等领域的长期积累，余杭量子研究院整合高校、地方科研机构与产业链资源，构建了从基础研究到工程应用的全链条创新体系。该设备不仅攻克了电子光学系统设计、高精度束斑控制等核心技术难题，更带动国内数十家配套企业在关键零部件、控制系统等领域协同突破，为构建自主可控的半导体装备供应链奠定基础。 值得关注的是，此前全球高端电子束光刻设备市场长期被荷兰、日本和美国企业主导，部分型号受出口管制限制，我国科研机构获取先进设备面临诸多制约。"羲之"的诞生彻底扭转这一局面——其定价低于国际均价，且完全适配量子器件、新型半导体材料等前沿领域的特殊工艺需求。研发团队负责人形象比喻："就像用纳米级毛笔在芯片上作画，我们既保留了传统电子束光刻的灵活性，又通过工程化创新大幅提升了设备的稳定性和易用性。" 业内专家指出，"羲之"的推广应用将加速我国在量子信息科技、高端传感器等战略领域的创新步伐。作为连接实验室研究与产业化的关键装备，该设备不仅支撑大科学装置原型验证，更能通过小批量定制化生产推动技术成果快速转化。随着后续工艺优化和产能提升，这台"纳米神笔"有望在更多科研院所和企业落地，为我国突破高端芯片制造瓶颈、实现科技自立自强提供硬核支撑。 |
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