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TVS-1000 VCSEL 测试系统 3D Sensing VCSEL 测试方案 系统背景 3D 传感成为近两年较火热的话题，智能手机厂商，也在各自的旗舰手机中加入了 3D 传感功能，这使 3D 传感技术的核心组件 — VCSEL（垂直腔面发射激光器）的需求爆炸式增长。因此，VCSEL 供应链的相关厂商都已经在该细分市场积极布局，但据市场调研的情况来看，VCSEL 的LIV 电学以及 NF/FF 光学近远场、人眼安全等测试环节则属于整个产业链偏薄弱的环节、一直在制约着 3D模组的良率和产能的提高。 系统介绍 Solution Partner- 测试共同推出的VCSEL 测试系统 TVS-1000，整个测试系统由吉时利公司高精度电源 2602 和高精度七位半万用表DMM7510、近远场的光学镜头、积分球、图像分析软件、测试夹具以及伺服电机等部分组成。 TVS-1000 测试系统可以测试和评估 VCSEL 芯片的各项性能指标，包括LIV电学参数、光学近远场、坏点检测、人眼安全、可靠性、温度特性、NA、束腰等。 方案特点 ● 深度定制化，配置灵活，机台可以根据研发和产线需求选择手动和自动机台； ● LIV 测试、近场测试、远场测试整合在同一机台也可自由分拆； ● 测量精度高，抗干扰能力强，电流测量精度最高可达 100pA，分辨率 1pA ● 整个光学系统都严格校准，包含畸变校准、灰度校准、像素能量关联、积分球标定等，整个光学系统均可以溯源； ● 人眼安全测试、O/E 转换时间、芯片时域响应（Tr/Tf）等可按客户要求定制，所有测试规范均遵循IEC-60825 协议； ● 温度测试范围 10-85℃，也可以扩展到 0℃（需定制） ● 后期可以扩展升级，添加前端的自动上下料以及后端的分拣系统； ● 编程支持 C++\C## 和 Labview● 寿命老化检测功能：在恒定或脉冲条件下（电流、温度），每隔指定时间间隔测试记录一次光谱和功率数据 TVS-1000软件配合吉时利高精度源表+DMM7510+ 积分球（含 PD）完成 LIV 测试。 TVS-1000 测试系统主要有三种配置。分别针对不同的客户，根据自己的购买能力和测试指标需求选择不同的仪器来完成测试。 配置一 ( 全配置 ))：主要针对模组厂，测试环节涵盖VCSEL 半成品以及成品模组测试、VCSEL 芯片的来料检测等； 配置二（电学 + 近远场二选一 + 人眼安全）：主要针对 FAB 厂芯片自检、部分封装厂的成品检测，测试涵盖部分测试环节； 配置三 ( 纯定制化 )：主要针对 VCSEL 产业链的其他环节的客户，有强定制化需求，测试需要重新设计。 简易操作步骤 ● 选择测试设备并安装 DUT 芯片 ; ● 设置相应的测试项，设置 Spec； ● 启动，等待测试完成 ; ● 生成测试报告、导出数据和图形 系统配置 Keithley 2602 高精度大电流双通道源表 Keithley DMM7510 七位半高精度万用表 积分球 6 英寸直径、波长 800-1100nm 近场 CCD 相机 2000W 像素 + 高倍率镜头 ( 校准 ) 远场相机 500W 像素 + 广角镜头 ( 校准 ) 透射膜 透射率 50%、厚度 10um-100um 伺服电机 水平移动精度≤ 1um TEC 温控器 温度范围 10℃ -85℃
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发表于 2022-5-9 10:34:35
