华工科技造出我国首台核心部件100%国产化高端晶圆激光切割设备
发布时间：2023-7-12 10:33
发布者：eechina
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来源：大半导体产业网 据“中国光谷”公众号消息，近期，华工科技制造出我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切割设备，在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。 
（图源：中国光谷） 据华工激光半导体产品总监黄伟介绍，他的团队自去年起便对半导体晶圆切割技术，展开微纳米级激光加工的迭代升级、攻坚突破。经过一年努力，半导体晶圆切割技术成功实现升级，热影响降为0，崩边尺寸降至5微米以内，切割线宽可做到10微米以内。 目前，华工激光正在研发具备行业领先水平的第三代半导体晶圆激光改质切割设备，计划今年7月推出新产品，同时也正在开发我国自主知识产权的第三代半导体晶圆激光退火设备。 |
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