有望造2纳米半导体！佳能：压印技术全球只有我们有
发布时间：2023-12-25 17:05
发布者：eechina
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来源：快科技 据媒体报道，佳能高管在接受采访时表示，纳米压印技术甚至可以生产电路线宽为2纳米的产品，并且该业务在全球只有佳能才有。 佳能半导体机器业务部长岩本和德称，纳米压印就是把刻有半导体电路图的掩膜压印到晶圆上，压印1次就可以形成电路，如果改进掩膜，甚至可以生产电路线宽为2纳米的产品。 客户的实际成本可以降至传统光刻设备的一半，而且由于纳米压印设备的规模减小，在研发等用途上也更方便引进。 当被问及纳米压印光刻设备是否有其他竞争公司时，岩本和德表示，面向半导体光刻，开展纳米压印设备业务的在全世界只有我们公司，准入门槛很高。 从2017年左右开始，佳能就与铠侠和大日本印刷3家持续进行合作开发，“目前量产用途的实用化已有眉目，我认为可以面向客户销售。” 同时其还表示佳能已收到了半导体厂商、大学、研究所的很多咨询，“由于引进EUV光刻设备需要庞大成本，作为替代措施的纳米压印备就备受期待。” |
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