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新方法——对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪,样片展示 [复制链接]

lynceetec (离线)
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发表于 2017-9-29 14:42:47 |显示全部楼层
关键词: MEMS麦克风 , 微执行器 , 惯性传感器 , 超声传感器 , MEMS表征
新方法拍了一些样片给大家看
MEMS动态表征应用案例:1、MEMS麦克风 2、惯性传感器 3、MEMS微执行器 4、MEMS微镜 5、微热板 6、MEMS悬臂梁配合MEMS频闪模块测量 7、超声传感器 8、24.7MHz表面声波

MEMS麦克风

MEMS麦克风

惯性传感器

惯性传感器

MEMS麦克风                                                                            惯性传感器

MEMS微执行器

MEMS微执行器

MEMS微镜

MEMS微镜

MEMS微执行器

微热板

微热板

MEMS悬臂梁

MEMS悬臂梁

超声传感器

超声传感器

24.7MHz表面声波

24.7MHz表面声波


全息法对于
离面运动的测量达到了MEMS激光测振仪的精度
面内运动的测量精度达到了1纳米,则远远超过目前市场上MEMS分析仪的测量精度。
大家怎么看?

相关资料下载

lynceetec (离线)
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发表于 2017-10-9 16:52:42 |显示全部楼层
表征MEMS器件的实时动态响应,可以访问www.raysci.com了解DHM的应用。
lynceetec (离线)
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发表于 2017-11-7 09:46:39 |显示全部楼层
数字全息技术对比传统AFM、激光扫描共聚焦显微镜最大的特点是无需扫描实时成像的方式,只需0.001秒抓拍单张图像即可得到样品实时三维形貌。

资料来自lyncee tec数字全息显微镜。采用数字全息技术,采用CCD记录物光与参考光干涉形成的全息图,计算机根据全息图中包含的相位信息实时数值重建得到物体三维形貌信息。由于采用高精度激光,纵向提供了激光干涉级别的亚纳米精度。
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