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新方法拍了一些样片给大家看
MEMS动态表征应用案例:1、MEMS麦克风 2、惯性传感器 3、MEMS微执行器 4、MEMS微镜 5、微热板 6、MEMS悬臂梁配合MEMS频闪模块测量 7、超声传感器 8、24.7MHz表面声波
MEMS麦克风
惯性传感器
MEMS麦克风 惯性传感器
MEMS微执行器
MEMS微镜
MEMS微执行器
微热板
MEMS悬臂梁
超声传感器
24.7MHz表面声波
全息法对于
离面运动的测量达到了MEMS激光测振仪的精度,面内运动的测量精度达到了1纳米,则远远超过目前市场上MEMS分析仪的测量精度。
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