吉时利源表在电子薄膜材料的应用方案

发布时间：2022-1-5 16:50 发布者：agitek2022

某一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度的材料成为薄膜材料，理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金属或有机物层。

薄膜材料：薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料，非电子薄膜材料需要对其电学特性进行分析，不是本方案针对的对象。电子薄膜又可以分为导电薄膜，介质薄膜，半导体薄膜，电阻薄膜，磁性薄膜，压电薄膜，光电薄膜，热电薄膜，超导薄膜等，表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。

一．电子薄膜材料表面电阻测试：表面电阻率测试常用方法是四探针法和范德堡法，但对电子薄膜材料，范德堡法很少应用。多数情况下，电子薄膜材料电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料/石墨烯材料高，用源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。

二．电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战：

1）电子薄膜种类多，电阻率特性不同（需选择适合的SMU进行测试）

2）被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数（厚度修正系数对测试结果的影响F（W/S）原片直径修正系数对测试结果的影响温度修正系数对测试结果的影响）

3）环境对测试结果有影响（利用电流换向测试消除热电势误差）

4）利用多次平均提高测试精度（需考虑测试成本）

三．吉时利电子薄膜材料测试方案：

1）通用配置

a.吉时利源表2450/2460/2461
b.四探针台（间距1mm）

c.测试软件（安泰测试系统集成可开发）

2）高阻电子薄膜材料测试方案

a.6221/2182A+6514X2+2000DMM
b.第三方探针台

c.手动或软件编程

四．方案优势：

1、不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求；
2、高精度源表，即可手动测试，也可以编程自动测试；

3、高性价比。

吉时利源表作为电学测量的常用仪器，在高校和研究所的相关实验室内几乎都能看到，源表集多表合一、配上专业软件可以实现各种定制测量，使用非常广泛。

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