INHA气体质量流量控制器，气体流量计MF-50C

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仁荷微电子科技有限公司主要从事INHA气体质量流量控制器，气体流量计的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。本公司自主开发研制的产品：INHA小流量的质量流量控制器MF-50C，适用于食品、医疗、镀膜、离子清洗等多种行业，价格优惠（全国统一售价2500元）欢迎订购。

技术指标：
编号 项目   MF-50C
1  最大耐压1.0Mpa  1.0Mpa  
2  流量定制范围  20SCCM ~30SLPM  
3  压差适用范围宽  最小开启压力0.2kg/cm2 
4  响应速度    ≤2S
5  精度  ±1%FS  
6  线性度  ≤ +-0.2%  
7  控制信号 0-5V 4-20mA

产品优势：
1. 中韩联合打造，两国同步上市；
2. 结构紧凑，节省空间；航空铝阀体，质量轻便；连接方便；安装便捷360°无死角；
3. 定制灵活，应用广泛：
4.科技护航，更稳更快：内置温度传感器，抑制温漂，提高稳定性，年零点漂移小于0.2%/年；新型模拟电路控制策略，控制量程比50：1；优异的阀门构造，稳定性好、精度高、速度快
5.新型的模拟反馈控制电路，PWM控制阀门，响应速度快，精度高。。
6.操控性好，操作简捷：15V/24V单电源供电。
7. 价格（全国统一售价2500元）实惠，经久耐用，性价比高；
8. 快速发货，售后精心：48小时内快速出货，标准产品（500sccm、1slpm、  5slpm、10slpm 20 slpm  30 slpm）24小时发货；保质期一年 一年内免费校准一次 质保期内非人为损坏（违规操作等），免费赠送连接线。
如图：

工作原理：
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）
结构：
气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。

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