作者：中国元协传感器分会副理事长 谷荣祥
MEMS技术最早由Richard Pfeynman（1965年获得诺贝尔物理奖），在1959年提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。
1979年Roylance和Angell开始压 ...
美国惠普（Hewlett-Packard）开发出了灵敏度比市售量产产品高1000倍的MEMS加速度传感器。该传感器技术可用于监视桥梁等建筑物、进行健康监测、发现矿物和油井等以及进行地震监控。
此次的传 ...
市场研究公司iSuppli称，尽管在2009 年最后九个月强劲复苏，但由于第一季度市场极度萧条，最终使得全球 MEMS 市场 2009年全年营业收入下降 8.6%,相当于减少6 亿美元。这也是该市场连续第二年下 ...
美国普渡大学(Purdue University)的研究人员将普通纸张，浸在由矿物油(mineral oil)与氧化铁纳米粒子的混合物中，并用该种材料制作小型的悬臂(cantilever)，就能利用磁场使其移动或振动；而这种 ...
意法半导体(STMicroelectronics)近日扩展其产品阵容，推出新一代微加工音响组件。创新的MEMS麦克风采用奥姆龙(OMRON)的传感器技术，可大幅提升现有和新兴音效设备的音质、可靠性以及成本效益的 ...
ADI（全球领先的高性能信号处理解决方案供应商）最近成功完成了对专有模拟、混合信号和 MEMS（微机电系统）制造工艺技术的升级和改进，目的是降低成本，提高晶圆制造效率。美国马萨诸塞州威明顿 ...
Holst Centre，一家专注为无线自治传感器方案开发共用性技术的研发机构，已经开发一套新能量收集应用，可生成高达 85 微瓦的功率。这种压电式能量收集采用微机电系统 (MEMS) - 可结合机械件 ...
上海芯片企业深迪半导体12月7日宣布，国内第一款具有中国自主知识产权的商用MEMS陀螺仪诞生，这是国内首颗手机传感器芯片，将改变我国手机MEMS陀螺仪完全从国外进口的历史。
中国首款国 ...
意法合资公司意法半导体(STMicroelectronics)2009年11月25日宣布，将涉足MEMS麦克风业务。意法半导体将在单封装产品中集成该公司的ASIC及从欧姆龙购买的MEMS声波传感器芯片，作为数字输出MEMS麦 ...
据iSuppli公司，尽管在2009年放缓，但由于受到手机和其他应用的青睐，2008-2013年微机电系统(MEMS)麦克风的全球出货量有望增长两倍以上。
预计2013年全球MEMS麦克风出货量将达到11亿个，远高 ...
高互动的人机界面让电子产品增添实用趣味，创造得心应手的消费体验，设计优劣正是获得使用者青睐的关键。意法半导体拥有完整的微机电系统、触控、压力等传感器解决方案，在市场需求与应用变化都 ...
美国Pixtronix公司在10月28至30日于太平洋横滨会展中心举办的“FPD International 2009”上展出了全彩显示的MEMS显示器“PerfectLight”。尺寸为2.5英寸，像素为QVGA（320×240像素），这两点与 ...
