深圳院企联手，拓展第三代半导体先进材料研发
发布时间：2023-9-19 15:06
发布者：eechina
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来源：化合物半导体市场 近日，中国科学院深圳先进技术研究院（下文简称“深圳先进院”）光子信息与能源材料研究中心（下文简称“研究中心”）与深圳市纳设智能装备有限公司（下文简称“纳设智能”）成立了先进材料联合实验室，推进产学研深度融合。 资料显示，上述研究中心成立于2008年，专注于高性能多元化合物半导体材料的前沿技术研究，在光电传感半导体材料制造方面取得了一系列成就。 纳设智能则成立于2018年10月，致力于第三代半导体碳化硅外延设备、石墨烯等先进材料制造装备的研发、生产、销售和应用推广。该公司自有第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延设备，是中国首台完全自主创新的碳化硅外延设备。 研究中心专注于先进材料的应用研究，纳设智能在先进材料的设备制造方面颇有心得，二者一拍即合。 目前双方除了着重于工艺和设备的合作外，联合实验室还将对其他半导体先进材料进行研究，如氮化铝、氮化镓、石墨烯等先进材料生长设备及工艺。双方的合作将进一步提高研发效率，缩短研发周期，推动先进材料领域的技术创新。 |
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