MEMS传感器是当前芯片制造领域火热的话题之一，智能手机、新能源汽车以及各类智能穿戴，会消耗大量MEMS传感器。对于很多MEMS传感器生产商来说，提升MEMS传感器的质量是拓展市的关键。近年来，MEMS传感器的小型化趋势愈发明显，而检测试需求正在持续提升。

MEMS传感器的分类复杂，全球每年消耗的MEMS传感器数以亿计，这些MEMS传感器的被广泛应用于智能手机、汽车电子、智能制造等领域。由于不同MEMS器件的功能和性能都存在差异，以往的测试方案都是采用定制化的仪器。造价高昂的测试方案导致MEMS传感器厂商的测试成本提升，最终由消费者买单。

在万物互联时代，MEMS测试技术随着市场需求日渐成熟，以SPEA为代表的MEMS半导体自动化测试设备服务商正在努力实现快速，高精度、低成本的检测。作为国际领先的高性能MEMS传感器测试设备供应商之一，SPEA推出过多款MEMS测试设备，它们满足厂商对测量精度和长期稳定性的苛刻要求。

SPEA的MEMS测试设备结合了快速和温和的取放处理、可靠的接触和完整的最终测试能力，包括电气测试、功能测试和校准的物理激励以及三温热调节。从设备编程到生产控制，SPEA自主开发应用软件可以精准管理每一项细节。

SPEA的MEMS测试仪能够完美地复制各种设备的真实工作条件，在激励应用期间与测试资源的持续连接使设备能够准确地验证设备是否正常工作。测试资源可以嵌入到激励单元中，或安装在一个紧凑的、只有测试头的测试仪中。

此外，多个刺激可以组合在一个测试单元中，以是西安组合型MEMS单元测试，如环境传感器（压力+湿度+气体+温度）或导航传感器（加速度计+陀螺仪+指南针）。

得益于在MEMS测试技术领域的长期积累，SPEA已在MEMS测试设备的设计、制造、测试方案、售后服务等方面占据了先机，并建立了完整的业务流程和供应链体系，其MEMS测试设备已广泛应用于MEMS声学传感器、MEMS压力传感器、MEMS加速度传感器、MEMS陀螺仪传感器、MEMS组合惯性传感器、MEMS磁传感器、MEMS微流控系统、射频MEMS等数百种传感器测试。

SPEA可以为全球MEMS传感器设备制造商提供完整解决方案和良好的本地化支持。除了消费电子、新能源汽车及医疗领域的MEMS器件检测，SPEA正在进一步开拓元宇宙、智能穿戴、航天航空等市场，为更多客户提供更智能化、更低成本、更高效的MEMS传感器测试仪器，SPEA有望成为MEMS测试领域的领导者。