中国半导体设备的脊梁
发布时间：2010-2-8 18:24
发布者：嵌入式公社
|
彭晔 (apeng@semi.org) 突然有一种冲动，想写一写中国本土半导体设备行业的一群人。虽然我从来没有以采访的名义向他们提出记者的“套路”问题，虽然他们在世界半导体设备舞台上的声音还微乎其微，虽然我能看到听到的只是他们人生中一个片段，但他们的热情投入与不断进取的精神让我感动。他们是中国半导体设备行业的脊梁。 素描 北方微电子的总裁耿锦启是个实在人。印象最深的那句话就是“骑车5分钟到客户”。本土公司的优势正在于贴近客户的服务，北方的客户服务中心都设在了自行车 5分钟到达客户的距离之内，“公司为每个办事处都配备了自行车，保证客户随叫随到。”而北方微电子保定办公室就设在了客户的公司内部，北方人与天威人表面看是客户关系，但更像是同事关系，他们在为同一个目标而共同努力，即实现光伏模组效率的提高与成本的降低。 在公司经营与前沿技术研发领域，耿锦启的理念却已与国际接轨，进入了“汽车时代”。当北方微电子完成十五国家重大专项的刻蚀设备研发，并成功将3台 200mm机台销售给中芯、华虹和宏力后，耿启锦说北方开始了“二次创业”。除了引进海外人才、继续300mm的前沿技术设备研发外，北方还成功开发了光伏PECVD设备，并且在北京设立了光伏制造整条中试线，与国际理念接轨进行研发，即以工艺开发为主，硬件调试为辅。“中国人讲求谦虚，有实力就说实力，决不吹嘘，”耿锦启说。相信北方的PECVD设备也将具备这一实力风格。 七星电子集成电路工艺设备研发中心总经理盛金龙身上洋溢着北方人特有的热情与直爽。说到300mm质量流量计Intel订单的时候，盛金龙的第一句话就是，“都是我们的错，是我们的研发有点儿慢了。”坦诚的态度给人以信任。相信一年1万台MFC的订单，及成为国内MFC老大的业绩与这种坦诚的态度不无关联。 作为中国历史最为悠久的半导体设备公司，七星的扩散退火与清洗设备早在国内市场享有很高的美誉度。在国家02专项的支持下，300mm最新的扩散退火系统即将走出七星，进入fab接受进一步的考验。当问起系统的零部件本土化情况时，盛金龙自豪地说，只有一个关键部件是纯进口的。说到自家设备的优点，盛金龙如数家珍，从设备的独特腔体设计，到如何提高工艺稳定性等等。不过最后的一句总结，“等客户有了好的结果再宣传”，让我再次感受到了盛金龙的直爽与谦虚。 中科院微电子所的叶甜春所长作为02专项的组长，“大权在握”，却丝毫没有架子。因为公差耽误了北京“32nm技术研讨会”的演讲，叶所长道歉的话说了三遍。随着国家32nm与22nm设备与工艺研发项目的开展，叶甜春胖了，因为压力，因为事情太多，“只有吃饱了才有精力。”叶甜春笑谈。 国家对半导体设备与工艺的重视，对中国产业来说是莫大的发展机会。面对千亿元的研发资金，如何用好，如何快速地促进中国半导体产业的发展，这对02 专家组来说意味着责任与挑战。与科技部官员沟通、与企业沟通是必须的步骤，了解国际最新技术趋势与热点也是不可或缺的，只有通过调查研究，才有发言权。叶甜春说，我们的目标就是在2020年，中国能够成为引领世界半导体行业发展的一份力量，在世界半导体行业有自己的声音。 机遇与发展 2006年２月９日，国务院发布了《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》确定了未来15年力争取得突破的16个重大科技专项，涉及信息、生物等战略产业领域，能源资源环境和人民健康等重大紧迫问题以及军民两用技术和国防技术。其中01、02专项分别为核心电子器件、高端通用芯片及基础软件，以及极大规模集成电路制造技术及成套工艺。作为信息产业的基础，IC的设计与制造引起了国家高度重视，希望籍此机会带动国内半导体全产业链的技术进步，政府对半导体的巨大投入无疑是产业发展难得的一次机遇。 七星承揽着02专项扩散退火系统的研发项目，盛金龙说，此次国家的投入与之前的十五计划相比增加了非常多，国家现在不是怕花钱，而是怕“出不来东西”。 在先进工艺研发领域的数十亿投入也将大幅提升芯片厂的工艺技术水平和IP的拥有量，促进自主创新。据中芯国际技术处长吴汉明介绍，目前中芯每年能够自主开发数百专利，45nm的激光退火、32nm的双曝光、HKMG等关键技术领域都是重点研发方向。与此同时，中芯还能够为国产半导体设备提供验证平台，为01专项的IC设计公司提供工艺支持及免费的MPW服务，与产业链上下游共同进步。 随着半导体技术日益广泛地应用于太阳能光伏、TFT、LED等领域，本土设备公司在半导体领域的技术积累已经转移到大半导体领域。中电48所、七星、北方微电子等公司与Applied Materials等国际公司走的是同样的道路。 随着全球对绿色能源的需求提高，以及对光伏成本降低的不懈追求，中国光伏产业开始了欣欣向荣的发展，中国的设备制造公司由于成本优势也拥有了更多的机会。“最近几年是太阳能产业发展的黄金期，但随着越来越多传统半导体国际公司进入这一领域，留给我们发展的时间也许并不太多。”七星副总经理张国铭说。 七星也是国内首家进入TFT五代线的本土设备公司，在光伏与TFT设备领域的成功正是保证七星每年业绩两位数增长的法宝。而正是有了半导体设备的技术基础，才让七星敏锐地把握住了每一次市场机遇。 挑战与困惑 “从产品开发到成熟、再到市场认可通常需要6－7年，”耿锦启说。目前半导体市场已基本成熟，2009年市场还在萎缩，国内的市场需求也不明朗，因此单纯依靠半导体设备，企业的生存与发展自然会受到制约。 市场的成熟也让任何一个细分的半导体装备很难超过2家供应商，这对不占先机的中国公司是一大挑战。“中国制造”曾改变了服装、电子等产品的世界秩序，但在最为精密的半导体设备与工艺领域，“中国制造”能否续写这一神话？没有努力不能下结论，但基础工业也绝非是一朝一夕能够快速提高的。 貌似不起眼的零部件国产化问题是目前设备产业面临的最大困惑之一。半导体设备的4大关键零部件，即泵、质量流量计、阀门和管道，看似简单的部件，但目前本土生产的先进半导体设备的核心几乎都采用进口的零部件。在产量无法与国际先进水平相提并论的今天，我们零部件的价格实际比竞争对手还要高！但设备销售的价格却必须比进口设备低30％左右，七星微电子设备分公司总经理唐亚非对此不无感慨。如何抓好基础的基础，即零部件产业，是多年来本土半导体设备公司发展的瓶颈之一。 本土设备对“技术含量略低”的光伏设备全球市场的冲击有目共睹。这也迫使国际设备公司不得不采取降价措施，因此中国光伏制造的全球价格优势也不能少了本土设备公司这一份贡献。但我们同时还发现，不论是核心的薄膜光伏镀膜设备，还是TFT核心镀膜设备、LED生长的核心MOCVD设备，这些最为关键的领域似乎都还缺少中国公司的身影。SEMI顾问莫大康的这一评述让我们再一次审视中国设备产业的技术基础，没有坚实的钢筋，将很难盖起摩天大楼。 思考是行动的基础。正是出于对设备行业的一腔热情，让他们有了这份思考。中国半导体产业的未来，将建立在今天我们共同努力的砖石上。 |
网友评论