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分享 Wafer Fab中的reticle静电损坏
copper_hou 2017-11-7 16:12
Wafer Fab中的reticle静电损坏
Reticle在Wafer fab中的角色 Photolithography(简称PHOTO,光刻),是半导体Wafer fab中最为核心技术的生产工序段。 Reticle,也称为photo mask(光罩),则是PHOTO工序必不可缺少的关键工具。Reticle的自身完好性,对wafer线路光刻的精准性起着决定性的作用。 图1. Reticle在wafer PHOTO中的作用图示 ...
个人分类: ESD控制|144 次阅读|0 个评论
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