近日,项目总投资约50亿元的上海图双精密装备项目落户越城,成为绍“芯”版图上的又一块新拼图。
如果将芯片制造比作雕刻,那光刻机就是将雕刻线稿(电路图)描绘在材料(晶圆表面)上的画笔。它决定着芯片的工艺水平和性能,是制造半导体芯片的关键装备。光刻机是集成电路制造中最为核心的高端装备,其工作原理是利用光源通过具有图形的光罩(掩膜)对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上的图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。光刻机技术集成了物理学、超精密光学、精密仪器、高分子物理与化学、数学、材料、自动控制、流体力学、高精度环境控制、软件等40多个学科的最新科学成就。
目前,全球最先进的光刻机主要由荷兰的ASML公司生产,能够实现3nm甚至2nm工艺的芯片制造。中国的光刻机研发进展相对较慢,尤其是在EUV光刻机方面,面临着掩模技术、抗蚀剂技术、精密工件台技术等方面的挑战。尽管如此,中国在光刻机领域也取得了一些进展,例如哈尔滨工业大学公布的高速超精密激光干涉仪技术,以及国内某公司开发的SAQP技术,这些技术有望实现7纳米甚至5纳米工艺。
近日,项目总投资约50亿元的上海图双精密装备项目落户越城,成为绍“芯”版图上的又一块新拼图。项目计划分两期实施。一期计划投资约5亿元,一期占地面积35亩,用于转移及扩大公司目前在上海的产能;二期计划投资约45亿元。两期将实现年产50-100台半导体设备的目标。项目正在建设中,预计2025年投产。这家上海高新技术企业为何会将生产基地放在越城?上海图双董事长钟敏道出了背后的原因。去年下半年,基于连年的业绩增长,公司计划在长三角地区筹建大型生产基地。经过几次拜访和对接,钟敏被越城的满满诚意打动。“招商政策好,产业集聚性强,项目也有专人全流程服务,企业发展前景广阔。”谈及越城的营商环境,钟敏给予了很高评价。此次成功引入的上海图双精密装备项目,不仅能根据市场需求研发生产国产光刻机,也能对国外光刻机进行定制化改造、调试。“光刻机比较精密,设备的装调是相当重要的环节。”钟敏解释道,超高的精密度要求是造成光刻机技术难以在短时间内取得突破的主要原因之一。以EUV光刻机为例,其零件数量超过45万个,是一辆F1赛车的20倍以上。因而,光刻机从出厂,经船运或空运到达项目安装地后,还需要几个月的时间进行装调。。该项目不仅能根据市场需求研发生产国产光刻机,还能对国外光刻机进行定制化改造和调试。然而,需要注意的是,上海图双精密装备有限公司的主要业务是半导体设备翻新,并非大家所认为的“国产光刻机厂商”。上海图双精密装备项目在绍兴的具体投资规模和预期产能是多少?上海图双精密装备项目在绍兴的具体投资规模为总投资约50亿元,其中一期计划投资约5亿元,二期计划投资约45亿元。国产光刻机在市场上的竞争地位和主要竞争对手有哪些?国产光刻机在市场上的竞争地位和主要竞争对手如下:
- 市场地位:
- 国产光刻机在全球市场上仍处于起步阶段,尚未形成与国际巨头相抗衡的竞争力。目前,ASML在光刻机市场中占据主导地位,其市场份额超过90%,尤其是在EUV光刻机领域更是独占鳌头。
- 2019年,上海微电子成功研发出我国首台分辨率达到28纳米的国产光刻机,打破了国际巨头在高端光刻机市场的垄断。这表明国产光刻机在某些细分市场已经取得了突破。
- 主要竞争对手:
- 全球光刻机市场的主要竞争者包括ASML、Nikon和Canon。其中,ASML占据了绝大多数市场份额,特别是在193nm浸没式光刻机和EUV光刻机领域。
- 在国内市场上,上海微电子是国产光刻机的龙头企业,科益虹源、光韵达和国泰光学紧随其后。此外,张家高科、福晶科技、奥普光电和茂莱光学等公司也在国产光刻机产业链中扮演重要角色。
尽管国产光刻机在技术上仍有较大差距,但已经在某些细分市场取得了显著进展,并且在国内市场上逐渐崭露头角。上海图双精密装备有限公司提供的定制化改造和调试服务包括哪些内容?上海图双精密装备有限公司提供的定制化改造和调试服务包括以下内容:
- 设备原机性能评估测试:对设备进行全面的性能评估,以确保其达到客户的要求。
- 各功能模块功能恢复:对设备的各个功能模块进行修复和调试,以恢复其正常运行。
- 设备精度调试及测试:对设备的精度进行调试和测试,确保其满足客户的精度要求。
- 保修期:提供设备的保修服务,以保障客户的利益。
- 培训:为客户提供设备操作和维护的培训服务。
- 大线on-call服务:提供紧急技术支持服务,确保客户在遇到问题时能够及时得到帮助。
此外,公司还提供光刻设备(如ASML、Nikon、Canon)的备件和耗材供应,以及其他备件和耗材的供应及代理服务。绍兴市政府对国产光刻机工厂落户政策有哪些支持措施或优惠条件?绍兴市政府对国产光刻机工厂落户政策提供了多项支持措施和优惠条件。具体包括:
- 项目投资补助:对于集成电路产业的投资项目,最高可获得3000万元的补助。
- 企业核心团队奖励:企业核心团队最高可获得800万元的奖励。
- 财税政策支持:在人才引进、项目投资、平台建设等领域给予政策支持。
国产光刻机项目的进展情况和预计完成时间是什么?国产光刻机项目的进展情况和预计完成时间如下:
- 上海微电子:该公司计划在2024年底交付第一台用于28nm制程生产的193nm ArF浸没式DUV光刻机,型号为SSA/800-10W。此外,国家02专项光刻机项目二期曾设定于2020年12月验收由上海微电子设计集成的193nm ArF浸没式DUV光刻机。
- 北京国望光学:该项目在2024年1月15日获得了新进展,已有三家国产相关企业中标。
- 其他进展:尽管有多个项目和企业在推进国产光刻机的研发和生产,但整体来看,国产替代仍是一个长期且复杂的过程。
目前,上海图双的技术能力和资源已覆盖ASML、尼康、佳能三家公司的6英寸、8英寸、12英寸光刻机,能按照不同的芯片产品特性及工艺进行设备再制造、技术匹配、工艺调试等定制化服务,从而更好地满足本地集成电路产业的“芯”质生产,在持续提升芯片价值的同时降低制造成本,与“芯”友共同推动集成电路产业的崛起。
光刻技术作为半导体制造领域的关键工艺之一,在现代科技的浪潮下扮演着举足轻重的角色。2022年全球半导体设备市场规模达到了1076.5亿美元,其中光刻机市场占比约为24%,即258.4亿美元。光刻机作为半导体制造过程中的核心设备,其市场规模的扩大直接反映了全球半导体产业的繁荣程度。随着技术的不断进步和应用领域的不断拓展,光刻机市场的规模将继续保持增长态势。
预测至2024年,全球光刻机市场规模将增至295.7亿美元。这一增长主要得益于消费电子需求之外的新动能,如电动汽车、风光储、人工智能等领域对半导体产业的需求增长。随着这些新兴领域的快速发展,对高性能、高精度光刻机的需求也将不断增加,从而推动光刻机市场的持续扩大。
然而,光刻技术的复杂性和技术难点也使得其成为了一个不容忽视的挑战。随着中国持续加大在半导体领域的投资和努力,中国的光刻机技术发展正取得着初步的突破,同时也面临着一些尚需解决的问题。
光刻技术的难点主要体现在高精度、复杂制程、制程材料等方面。首先,随着芯片制程的不断提升,光刻技术需要更高的分辨率,这意味着光刻机的光源、透镜和机械部件都必须具备更高的精准度,以确保微米级以下的图案制作准确无误。
其次,光刻制程是一个涉及多个因素的高度复杂过程,需要实现严格的协调和控制。在光刻过程中,温度、湿度、机械振动等因素都会影响制程的稳定性,因此需要实现精细的控制以确保产品一致性。
此外,制程材料的研发与选用也是光刻技术的难点之一。光刻胶、掩模材料等需要在特定的光学和物理条件下具备稳定性,以确保图案的准确传递和再现。
