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质量流量控制器通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。

质量流量控制器特点：较快的响应速度及稳定时间；精度高，重复性好；温度和压力不敏感；采用液晶触控显示和便捷控制；良好的重复性和再现性；高的精度及零点稳定性；电压输入，多种信号输出方式。

质量流量控制器配备有316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片、电磁比例阀等，具有响应速度快、精度高、稳定性好等特点。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。在输出方面，带有液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。

质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。

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