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质量流量控制器具有质量流量计的功能，重要的是它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，流量控制器自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

质量流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

质量流量控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不敏感，可以任意位置安装非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。