质量流量控制器可以以输出标准电信号输出流量测量值，这样容易实现对流量的累积流量自动计量、计算机管理、数字显示、数据自动记录等。流量控制器本身除了测量部分，还带有一个电磁调节阀或者压电阀，这样质量流量控制本身构成一个闭环系统，用于控制流体的质量流量。

质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC提供。通常，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。

热式流量计是气体流量计量中新型仪表，能直接测量气体的质量流量，不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。可用于控制一般的腐蚀性气体，正常使用时应保证进出气两端的压差在技术指标范围之内，低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器无法正常使用。

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。