立即注册 登录
电子工程网 新闻 新品 文章 下载 视频 工具 论坛 研讨会 空间

gxkeyi的个人空间 https://www.eechina.com/space-uid-99017.html [收藏] [复制] [RSS]

博客

M EM S 光开关
2013-8-2 09:32
M EM S 光开关
1　M EM S 技术 M EM S (M icro2Elect ro2M echan ical Sys2tem ) 技术也称作微机电系统技术, 是指可批量制作并集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理及控制电路、接口、电源等于一体的微型器件或系统。M EM S 是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。M EM S技术的主要特点如下 ...
1539 次阅读|1 个评论
关于我们  -  服务条款  -  使用指南  -  站点地图  -  友情链接  -  联系我们
电子工程网 © 版权所有   京ICP备16069177号 | 京公网安备11010502021702
返回顶部