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海德汉长度计的测量原理

已有 337 次阅读2019-11-5 10:38 | 海德汉长度计


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       海德汉长度计具有量程大、精度高、精度稳定的特点。其技术基础是光电扫描。采用实物测量基准,即玻璃或玻璃陶瓷基体的绝对式或增量式光栅尺。这些测量基准支持大测量范围,对振动和冲击不敏感,并具有确定的温度特性。测量基准的精度不受大气压力和相对湿度变化的影响。海德汉公司特别开发的光刻工艺制造精密光栅。在镀金钢带上蚀刻线条,典型栅距40 um;抗污染的镀金层金属线,典型栅距20 um玻璃基体的超硬铬线(典型栅距20 um)或玻璃基体的三维铬线格栅(典型栅距8μm)。
 
      海德汉长度计http://www.amy05.com/的母版光栅采用定制的精密刻线机制造。增量测量法的光栅由周期性刻线组成。位置信息通过计算自某点开始的增量数(测量步距数)获得。由于必须用绝对参考点确定位置值,因此光栅尺上还刻有一个参考点轨。参考点确定的光栅尺绝对位置值可以精确到一个信号周期。因此,必须通过扫描参考点建立绝对基准点或确定上次选择的原点。绝对测量法是指编码器通电时就可立即得到位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝对位置信息来自光栅码盘,它由.系列绝对码组成。单独的增量刻轨信号用于细分处理后得到位置值,同时也能生成供选用的增量信号(与接口类型有关)。
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