X射线照射铁素体和奥氏体时都会产生衍射，其衍射峰的强度与各相体积分数成正比，因此Xstress3000残余应力分析仪通过各衍射峰的强度对比可以分析计算出残余奥氏体的百分含量。

Xstress3000残余应力分析仪采用四峰法自动测量残余奥氏体含量，精度优于1%。相比较于传统的金相法等手段，四峰法具有无损、快速和精确等特性。