电压放大器在线性相位调制双零差干涉仪位移测量实验中的应用

发布时间:2025-4-18 10:10    发布者:aigtek01
关键词: 电压放大器
  实验名称:线性相位调制双零差干涉仪位移测量相关实验
  测试目的:测试双零差干涉仪在测量镜M2静止时,进行长时间的测量时,环境参数变化引起的两路干涉信号相位差的漂移情况。
  测试设备:电压放大器、He−Ne激光器、信号发生器、电光相位调制器、偏振片、普通分光器、角锥棱镜等。
  实验过程:

  图1:双零差干涉仪位移测量系统实验装置
  双零差干涉仪位移测量系统实验装置如图1所示,调好光路后,测量镜M2静止不动,EOM采用线性相位调制,调制信号由信号发生器产生,锯齿波频率设置为500Hz,幅值起初设置为7.5V左右,再通过微调幅值使得干涉信号是一个完整的余弦信号。一直测量PD1和PD2检测到的干涉信号相位差,并长时间记录相位差的变化情况。实验时要确保实验环境的稳定,减少其他因素的干扰,因此实验在夜晚进行。
  实验结果:

  图2:6小时相位差稳定性测试实验结果
  实验结果如图2所示,从图2中可以看出:在6个小时内相位差变化约为80º,每分钟约变化0.2º,对于位移测量实验,一般测量速度为毫米级每秒,实验全程能够在几分钟内完成。因此在环境较好的情况下,在一次位移测量过程中相位差漂移较小。
  在线性相位调制双零差干涉仪位移测量相关实验中:(1)相位差测量稳定性实验表明在6个小时内每分钟变化约0.2°,符合实验测量要求;(2)纳米级位移测量实验结果为:位移误差均值和标准偏差都不超过1nm;(3)微米级位移测量实验结果为:位移误差均值在1nm范围内,位移误差标准偏差在1.42nm~3.21nm范围内。
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  图:ATA-2048高压放大器指标参数
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