三星旗下Semes宣布量产ArF-i Track设备

发布时间:2024-6-26 09:44    发布者:eechina
关键词: Semes , ArF-i , Track
来源:大半导体产业网

据韩媒报道,6月24日,三星旗下半导体设备子公司Semes表示,将正式批量生产此前全部依赖进口的ArF-i光刻Track设备“Omega Prime”2号机。Semes在韩国首次开发该设备,并于去年批量生产了1号机。

据了解,Semes此前主要生产用于KrF光刻的Track设备,为了应对光源波长线宽变短的新型光刻机,于是开发了ArF-i版本。

Semens首席技术官崔吉贤表示:“Omega Prime的开发将对今后的进口替代效果产生很大的影响。今后将持续推出以高附加值为中心的差异化设备,成长为技术创新企业。”
本文地址:https://www.eechina.com/thread-861847-1-1.html     【打印本页】

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