面向Micro LED应用的200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获艾迈斯欧司朗认证

发布时间:2023-2-14 18:34    发布者:eechina
关键词: Micro LED , AIXTRON
艾迈斯欧司朗(瑞士证券交易所股票代码:AMS)和爱思强(AIXTRON SE,法兰克福证券交易所股票代码:AIXA)联合宣布,200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证,可用于满足Micro LED应用需求。

爱思强的MOCVD系统AIX G5+ C和全新G10-AsP提供AIXTRON行星卫星式气浮旋转水平技术(Planetary Technology),为下一代高分辨率Micro LED显示屏铺平了道路。早在2022年第一季度,艾迈斯欧司朗宣布200mm产能增建计划,在马来西亚现有工厂实现LED和Micro LED产能。MOCVD系统有望助力实现Micro LED的批量生产,打造出新一代显示应用。

艾迈斯欧司朗执行副总裁兼光电半导体业务负责人Robert Feurle表示:“爱思强和艾迈斯欧司朗保持着长期的合作关系,我们熟悉其设备的性能和质量标准。对于任务艰巨的项目,例如开发和生产适用于AsP和GaN器件的Micro LED,爱思强正是我们需要的合作伙伴。”

爱思强首席执行官兼总裁Felix Grawert博士补充道:“G10-AsP和AIX G5+ C已成功获得艾迈斯欧司朗的认证,这是我们公司历史上一个非常重要的里程碑。艾迈斯欧司朗是全球领先的LED制造商,完全有能力将全新的基础性技术推向市场。我们正面临着从传统显示技术向新型Micro LED显示技术的重大转变。如今,爱思强正在迈入一个潜力巨大的未来增长市场,而且我们还有一位理想的合作伙伴与我们携手共进。”

Micro LED具备非常显著的优势,例如更高的像素密度、更长的使用寿命、更高的亮度、更快的开关速度和更宽的色谱,进一步提升显示技术。相对能耗低也是一项重要优势,使得Micro LED技术非常适合用于下一代配备较小显示器的消费电子设备,通常这些设备为电池提供的空间非常有限。  Micro LED有着特殊的生产要求:在其量产过程中包含一个特殊的批量转移工艺步骤,数千个微米尺寸的LED芯片(阵列)被拾放。任何缺陷都可能导致像素坏死,使整个阵列变得无用。因此,必须使用几乎无误差的外延工艺,使缺陷最小化,支持高成品率和符合经济效益的Micro LED生产。

爱思强的新型G10-AsP外延工具经过精心设计,旨在满足这项应用的特殊需求。这项全新工具是世界首款全自动AsP反应器,提供全自动“检测盒到检测盒”(cassette-to-cassette)晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制。这两个特性结合在一起会对成品率产生显著影响。此外,间歇式反应器技术还为爱思强系统带来了多项优势:其每片晶圆的生产成本在当前市场上属于最低级别,而单位洁净室面积吞吐量为最高级别。同时,该新工具拥有精确的流量和温度控制功能,能在连续运行时保持非常好的材料均匀性。

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