molbloc/molbox1+ 气体流量校准系统
发布时间：2022-5-12 15:55
发布者：eechina
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molbox1+流量测试主机 内置2个高精度石英参考级压力传感器（Q-RPT） • 绝压：± (0.01 % 读数或 0.003 % Q-RPT 跨距，取大值 ) • 差压 (A700K ) ：± (8.4 Pa或 0.032 % ΔP，取大值 ) • 差压 (A350K ) ：± (4.2 Pa或 0.026 % ΔP，取大值 ) molbloc-L层流元件模块 利用层流状态的气流上下游差压与流速成正比的关系测量气体流量 • 特级标定：流量测量不确定度为读数的±0.125％ • 标准标定：流量测量不确定度为读数的±0.2％ • 量程范围：最小（0-10） sccm；最大（0-100） slm molbloc-S音速喷嘴模块 利用喷嘴在临界条件下的质量流量与入口绝对压力成正比的关系测量气体流量 • 特级标定：流量测量不确定度为读数的±0.125％ • 标准标定：流量测量不确定度为读数的±0.2％ • 量程范围：最小（0.2-5） slm；最大（200-5000） slm • 量程可扩展至20000slm 资料下载： 
技术数据 molbox1 流量测量主机 2014-8_2022.pdf
(5 MB)
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