热式质量流量传感器应用技术问题详解

热式质量流量传感器能够利用比较简单的构造来准确地测量工艺气体的质量流量，因此广泛地普及在医疗、汽车、食品等气体监控和测量领域拥也有广泛的应用。其实用于测量气体流量的传感器种类很多，例如截流流量传感器、叶轮流量传感器等，它们多数是采集流体的温度、压力等信号，再换算成流量。近年市场上也相继出现了各种各样的质量流量模块，然而这些流量模块的封装都基于传统的封装方法。无论是截流流量传感器、叶轮流量传感器还是质量流量模块在对应的测量的技术上都存在着不足。

截流流量传感器、叶轮流量传感器由于气体流动状态不稳定，使其 流量测量准确性受到影响。而热式质量流量传感器的出现为流量传感器带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流量的目的，且测量值不因温度或压力的波动而失准。

质量流量模块通常在流量传感器芯片上预先刻蚀好流体流道，再将流量传感器芯片用 粘接剂粘在PCB板上的凹坑里，由于这一系列工艺基本需要手工完成，粘接剂的胶量和芯 片的角度偏移都难以有效控制，从而导致各个流量传感器芯片封装件的实际流道大小不一 致，这将不同程度地影响流量模块的性能，包括灵敏度、量程、稳定性及一致性。并且，这种传统的封装方法中大量工艺步骤基本依赖手工完成，不仅封装效率较低，成本也相对较高。

上述缺陷最终将严重影响流量传感器的应用与发展。在此工采网推荐瑞士IST 热式质量流量传感器 - MFS02。

适用于通过桥式电路测量极低流量与泄漏检测应用CTA模式下极高的测量动态范围(10‘000‘000 : 1)，非旁路模式对腐蚀性气体和蒸气具有高耐化学性不同的灵敏度与电路拓扑结构可供选择支持用户订制。