积极拓展产能:华亚再向ASML下达一份7460万美元光刻设备订单
发布时间:2011-4-28 22:59
发布者:1770309616
一周前我们曾报道过台湾华亚公司向著名光刻机厂商ASML下达了一份金额为2320万美元的设备订单的消息,而最近有消息称华亚又向这家光刻机厂商追加下达了一份价值为7460万美元的设备订单.![]() 按照ASML公司现有的光刻设备定价来估算,这次华亚很可能订购了三台ASML生产的ArF光源(193nm波长)液浸式光刻机,或者订购的可能是多台KrF光源(248nm波长)干式光刻机. 这两轮光刻机采购行为显示华亚正在积极拓展其芯片厂的产能. ![]() |
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