MEMS Analysis Tool 3D动态实时分析工具
| MEMS Analysis Tool MEMS Analysis Tool是一个后分析软件。它提供了量化和精确的3D空间和频率分析，时间序列的形貌图(4D)，通过DHM®同时拍摄面内和离面运动，离面运动精度达到MEMS激光测振仪精度，面内运动精度则远超MEMS测振仪精度，达到了1nm。
MEMS Analysis Tool是基于DHM数字全息显微镜一款软件，数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建算法，仅需0.001秒采集单张全息图即可得到实时3D形貌信息，无需扫描，在MEMS的设计与研究中有着独特的优势。此外，在形貌检测、形变测量、实时大面积形貌监测等也有广泛应用。   下载 (104.52 KB)
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测量任何MEMS参数 模式的形状 振动图：振幅与相位 位移，速度和加速度 沿着任何方向 在视野里的任何地方 对于任何结构 频率响应 电响应 [img=232,175][/img]仿真比较和测量 在任何时间任何地方，分析您的数据 导出数据以开放格式进行高级分析 定义您自己的分析模板，以比较有效的样本批次 高效宣传您的工作 测量您以前不能测量的样本 用视频演示出版物和会议演示 面内--离面运动分析在平面--离面分析中的高级算法 MEMS分析工具包含了强大的算法，可以分析MEMS的三维时间序列图在面内和离面的位移。 研究微小振动 边缘跟踪，傅里叶和子像素算法 平面内低至纳米 平面外低至皮米 对于大位移 模型跟踪算法 在平面内大到毫米量级 离面达到数十微米 复杂运动和几何图形的表征 板倾斜 旋转 移动部件有孔和结构 链接到出版物  下载 (337.31 KB)
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频域分析一个完整的频率响应分析工具箱 频率响应是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在时域和频域之间切换的几种方法。这种分析可以应用于平面位移和非平面位移，也可以应用于频闪观测模块的电气记录。 波德分析 波德相位和振幅的关系图
Q 因子
傅里叶分析 从时域到频域的傅里叶变换 从频域到时域的傅里叶滤波 谐波分析 基本的，第二，第三和第四谐波振幅 应用实例：MEMS麦克风和扬声器 模态分析模式形状，与模拟仿真有效的比较 MEMS分析工具可以对4D地形和模式形状序列进行可视化分析。当振动的振幅比结构尺寸小得多，并且与模拟结果进行有效的比较时，这种第二表示非常有用。 4D阵列分析独特的4 d分析工具 MEMS工具包括有效的工具，支持动态4D数据分析。轮廓切割，网格是其他独特的工具，它将给你的设备带来新的见解，革新他们的发展。数据可以作为文本文件或视频图像序列导出。 “array”工具，用于多设备分析 结构阵列的快速分析 个人设备之间的交叉对话 适用于大型设备的配合 快速分析：无需在测量前定义一个网格! “Dynamic profile cut”工具几乎是无限的积分 膜破裂电压的测定 多倍器件偏转的定量比较 |
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