MEMS Analysis Tool
发布时间：2017-11-3 13:38
发布者：lynceetec
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采用数字全息原理，CCD记录样品全息图，根据全息图包含的相位信息实时重建三维形貌。做到了纵向亚纳米分辨率，1000fps采集速率。可以在样品上任意点测量xyz复杂运动位移、振幅、速度、频率和三维形貌等信息，还可扫频进行谐振研究。 如图所示压电陶瓷执行器，选取了三点进行xyz方向振幅位移频率等测量，采取4路正弦电源相位分别相差90°，研究其行波运动。 Koala software 
MEMS Analysis Tool 
压电执行器 
阵列分析工具 
mode 1 
振幅位移 
伯德图 
谐振分析 
硅麦 
微执行器 
悬臂梁 
惯性传感器 
不同频率悬臂梁 
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