MEMS技术及其应用

发布时间：2011-1-11 22:14 发布者：看门狗

关键词： MEMS

MEMS 技术及其应用
李德胜等编著
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版日期：2002年3月

本书共有八章，在概述微机电技术的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。作为MEMS应用，分别介绍了数种典型的物理量传感器和化学量传感器的工作原理及制造工艺，对各类微操作器、微机械零件及电系统也做了比较详细的论述，最后开辟一章介绍了生物芯片相关技术。

本书可作为微电子、机电一体化、精密仪器及仪器仪表等专业高年级的教学参考书，也可供其他专业师生及有关工程技术人员参考。

MEMS技术及其应用.pdf (14.31 MB)

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网友评论

wangqi490789 发表于 2011-1-12 08:29:05

顶一下，感谢楼主

lbbook 发表于 2011-1-15 14:05:52

谢楼主分享

hszx 发表于 2011-2-7 13:01:40

leifu666 发表于 2011-2-10 14:50:39

多谢分享学习学习

youyou_zh 发表于 2011-2-11 16:50:11

好

btma 发表于 2011-2-18 02:09:39

原来是微机电技术呀！

sansanlu 发表于 2011-4-3 17:41:22

sansanlu 发表于 2011-4-3 17:42:44

guoyanjie1984 发表于 2011-5-3 12:01:05

学习学习

nudt_dhl 发表于 2011-5-11 19:29:51

thanks for your sharing

rinllow5 发表于 2011-5-18 10:42:58

谢谢！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

4321 发表于 2011-7-25 09:50:24

thx~~

lixiongfei 发表于 2011-8-27 12:28:30

好东西，一起分享！

zhuozc 发表于 2012-1-30 20:19:43

多谢

d421011611 发表于 2012-5-16 20:46:44

好东西，一起分享！

kismeter 发表于 2012-12-12 13:54:42

感谢

xinger 发表于 2013-3-4 10:50:04

好样的

moguojing 发表于 2013-4-8 23:37:01

thx~~~

上网去溜溜 发表于 2013-12-4 17:43:17

谢谢分享

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