现代集成电路制造技术原理与实践

发布时间：2014-7-15 18:01 发布者：看门狗

关键词： IC制造

现代集成电路制造技术原理与实践

现代集成电路制造技术原理与实践

内容简介本书介绍当代集成电路制造的基础工艺，重点介绍基本原理，并就当前集成电路芯片制造技术的最新发展做了较为详尽的阐述。本书共18章，主要内容包括：硅材料及衬底制备、外延生长工艺原理、氧化介质薄膜生长、半导体的高温掺杂、离子注入低温掺杂、薄膜气相淀积工艺、图形光刻工艺原理、掩模制备工艺原理、集成电路工艺仿真、集成结构测试图形、电路管芯键合封装、集成电路性能测试、工艺过程理化分析、管芯失效及可靠性、超大规模集成工艺、芯片产业质量管理、可制造性设计工具和可制造性设计理念等。

受美国新思科技（Synopsys Inc.）授权，本书在国内首次发布新一代纳米级TCAD系列仿真工具：Sentaurus TCAD设计工具的相关技术内容细节。本书免费提供习题答案，立体化教程同步出版。

本书可作为高等学校电子科学与技术、微电子、集成电路设计等专业的高年级本科生和研究生教材，也可供集成电路芯片制造企业工程技术人员学习参考。

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网友评论

rinllow6 发表于 2014-7-15 22:15:33

谢谢！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

yhchu 发表于 2014-7-16 08:51:02

很好，长知识了

spy007868 发表于 2014-7-16 09:16:46

谢谢分享。

liqiaw 发表于 2014-7-17 08:30:06

感谢分享。。。

plasmac 发表于 2014-7-24 08:14:57

谢谢分享。

lfz661218 发表于 2014-7-28 13:49:21

谢谢分享

sardislz 发表于 2014-7-28 20:54:25

看目录很不错

weimin217 发表于 2014-7-30 23:46:47

谢谢

zjy 发表于 2014-8-24 17:06:25

谢谢分享，顶一个！

jimcmwang 发表于 2014-11-14 14:01:37

现代集成电路制造技术原理与实践.part1.rar (15 MB, 下载次数: 653)

jimcmwang 发表于 2014-11-14 14:02:01

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jimcmwang 发表于 2014-11-14 14:02:11

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jimcmwang 发表于 2014-11-14 14:02:21

现代集成电路制造技术原理与实践.part4.rar (15 MB, 下载次数: 565)

jimcmwang 发表于 2014-11-14 14:02:28

现代集成电路制造技术原理与实践.part5.rar (2.9 MB, 下载次数: 440)

radio926 发表于 2015-9-15 13:14:08

谢谢分享

key330 发表于 2018-2-19 23:22:37

谢谢分享

key330 发表于 2018-2-19 23:23:49

系统设置有些奇怪

wachuyi 发表于 2018-4-26 13:42:57

谢谢分享

JLCS 发表于 2018-6-7 09:21:20

谢谢分享

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