宏微驱动定位系统滑模变结构控制的研究

发布时间：2010-3-3 11:13 发布者：诸葛孔明

内容摘要：本文研究了具有宏/微双重驱动定位工作台的滑模变结构控制技术，该工作台采用直线电机进行大行程位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，采用压电陶瓷微位移器完成精密位移驱动，利用光栅尺实现闭环位移反馈，可以实现 100mm 的工作行程，0.01μm 的重复定位精度。

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