MEMS Analysis Tool

发布时间:2017-11-3 13:38    发布者:lynceetec
采用数字全息原理,CCD记录样品全息图,根据全息图包含的相位信息实时重建三维形貌。做到了纵向亚纳米分辨率,1000fps采集速率。可以在样品上任意点测量xyz复杂运动位移、振幅、速度、频率和三维形貌等信息,还可扫频进行谐振研究。
如图所示压电陶瓷执行器,选取了三点进行xyz方向振幅位移频率等测量,采取4路正弦电源相位分别相差90°,研究其行波运动。

Koala software

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MEMS Analysis Tool

MEMS Analysis Tool

压电执行器

压电执行器

阵列分析工具

阵列分析工具

mode 1

mode 1

振幅位移

振幅位移

伯德图

伯德图

谐振分析

谐振分析

硅麦

硅麦

微执行器

微执行器

悬臂梁

悬臂梁

惯性传感器

惯性传感器

不同频率悬臂梁

不同频率悬臂梁

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