三星开发基于MEMS的手机相机快门
发布时间：2009-7-29 11:40
发布者：李宽
三星电子公司目前正在开发一款专用于紧凑型数码相机的MEMS快门，并已在相关学术会议上进行过报导。 该MEMS快门为直径2.2mm的圆形，通过在玻璃基板上成型薄膜实现。即在玻璃基地上采用ITO（铟锡氧化物）成型透明电极，并在上面覆盖一层光屏蔽薄膜。光屏蔽薄膜由36块扇形薄膜组成，每块扇形角度为10°，形成一个整圆形状。每个扇形片都在圆周处与ITO膜粘贴，并在中心部分卷曲下降，此时，光屏蔽薄膜处于开放状态，使得光能进入；当给ITO膜和光屏蔽薄膜提供30V电压时，两层膜上产生静电力，光屏蔽膜将覆盖整个ITO膜表面，此时，光屏蔽薄膜关闭并阻止光的进入。 在设计中，光屏蔽薄膜是可以卷曲的，因为它由两层薄膜形成，如，一层薄的Al膜和一层薄的SiN薄膜，两种材料具有不同的内应力，卷曲角度可以通过调整层厚以及控制每层膜的内应力来控制。 在有些情况下，通过快速传输图像传感器收集的图像数据，可不需要在数码相机中安装快门。然而，如果是传感器的像素数很高，如达到1000万像素时，由于图像数据传输速度的限制，导致单帧的传输时间变得较长，这使得抓拍告诉移动目标时不可避免地产生图像扭曲。这就是高端数码相机需要有物理阻光这一功能的原因。然而，机械快门过于庞大和昂贵，难以用于手机上的紧凑型相机中。针对此，三星公司打算使用MEMS快门技术解决尺寸和价格的问题。 但三星电子有关人士表示，目前还无法透露更详细的技术细节，并称至少要等到09年底，而且也没有提及马上将这一技术进行商业化的可能性。 |
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