三星开发基于MEMS的手机相机快门

2009年07月29日 11:07    李宽
关键词: MEMS , 快门 , 三星 , 手机 , 相机
三星电子公司目前正在开发一款专用于紧凑型数码相机的MEMS快门,并已在相关学术会议上进行过报导。



    该MEMS快门为直径2.2mm的圆形,通过在玻璃基板上成型薄膜实现。即在玻璃基地上采用ITO(铟锡氧化物)成型透明电极,并在上面覆盖一层光屏蔽薄膜。光屏蔽薄膜由36块扇形薄膜组成,每块扇形角度为10°,形成一个整圆形状。每个扇形片都在圆周处与ITO膜粘贴,并在中心部分卷曲下降,此时,光屏蔽薄膜处于开放状态,使得光能进入;当给ITO膜和光屏蔽薄膜提供30V电压时,两层膜上产生静电力,光屏蔽膜将覆盖整个ITO膜表面,此时,光屏蔽薄膜关闭并阻止光的进入。

    在设计中,光屏蔽薄膜是可以卷曲的,因为它由两层薄膜形成,如,一层薄的Al膜和一层薄的SiN薄膜,两种材料具有不同的内应力,卷曲角度可以通过调整层厚以及控制每层膜的内应力来控制。

    在有些情况下,通过快速传输图像传感器收集的图像数据,可不需要在数码相机中安装快门。然而,如果是传感器的像素数很高,如达到1000万像素时,由于图像数据传输速度的限制,导致单帧的传输时间变得较长,这使得抓拍告诉移动目标时不可避免地产生图像扭曲。这就是高端数码相机需要有物理阻光这一功能的原因。然而,机械快门过于庞大和昂贵,难以用于手机上的紧凑型相机中。针对此,三星公司打算使用MEMS快门技术解决尺寸和价格的问题。

    但三星电子有关人士表示,目前还无法透露更详细的技术细节,并称至少要等到09年底,而且也没有提及马上将这一技术进行商业化的可能性。
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