中芯提升MEMS为独立部门

2009年06月26日 11:06    admin
关键词: MEMS

  中芯MEMS部门升格为独立部门,以展现深耕MEMS市场决心。中芯表示,踏入此市场仅约1年,但预计2009年底前,已有3项商品已可进入大量投产,而市场上每项MEMS产品,中芯至少都有1个客户,因此对中芯来说,MEMS成长潜力值得期待。

  台积电对于MEMS市场相当看好,指出进入MEMS市场到现在为止已有7年,当中已累计出多项制程及IP技术,除此之外,台积电更已可提供标准制程,让MEMS客户可安心至台积电投片,因此特地于技术论坛中广发英雄帖,吸引各类MEMS公司下单。

  为了不让台积电在MEMS专美于前,中芯近期特别将MEMS升格为独立部门,附属在中芯SoC技术发展中心下,而该部门主管将由一位资深厂长领军。

  中芯表示,中芯采用成都8吋晶圆厂投产MEMS,目前为止已有1家欧洲及1家大陆MEMS客户进入量产阶段,市场人士猜测欧洲客户可能是意法半导体(STM),中芯进一步表示,不仅如此,现阶段中芯更已与多家MEMS客户,共同在MEMS制程上研发,估计1~2年内将可望陆续开花结果。

  中芯采取的制造流程则与台积电相同,希望MEMS与CMOS芯片于制造过程中,?懦}愈远愈好,原因是如硬将?琱ㄕP种类芯片摆在一起,到最后除容易出现干扰问题外,因CMOS芯片要求愈来愈小,但MEMS芯片却无法同步缩小,恐出现头大身小的现象。

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