tag 关键词: 实验研究光器件

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gxkeyi 2013-8-2 09:32
M EM S 光开关
1 M EM S 技术 M EM S (M icro2Elect ro2M echan ical Sys2tem ) 技术也称作微机电系统技术, 是指可批量制作并集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理及控制电路、接口、电源等于一体的微型器件或系统。M EM S 是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。M EM S技术的主要特点如下 ...
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