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采用2602型源表进行高吞吐量激光二极管模组和VCSEL直流生产测试

已有 486 次阅读2012-6-28 17:30 |个人分类:测试测量| 关键词:

激光二极管Laser diodeLD)和垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting LaserVCSEL)在光通信、光谱学和其他许多重要应用中是两种主要的元器件。随着对上述应用的需求的增长,对这两类基本元件的需求也随之增长,这就要求人们更加注重于开发精确且成本经济性好的生产测试策略。

典型的激光二极管模组由一个激光二极管和背光探测二极管组成。带温控的激光二极管模组还可以包括一个半导体制冷器(thermoelectric controllerTEC)和一个热敏电阻以便对激光二极管工作温度进行精确调节,如图1所示。(另外,在高速激光二极管模组中还包括一个集成的调制器芯片,未在图1中示出)。

 

1. 典型激光二极管模组

 

2. 简化的垂直腔面发射激光器结构(来源:Kartalopoulos

 

相比于标准的激光二极管,垂直腔面发射激光器VCSEL具有更为复杂的半导体结构,但其封装结构一般更为简单。典型VCSEL结构的剖面图如图2所示。不同于边缘发射激光二极管,VCSEL可实现晶圆级测试,这一特点同时为VCSEL的测试提供了机遇和挑战,在下面部分将对其进行探讨。

需要记住的是,无论这两种器件中的哪一种,都需要多步工序完成制造。制造中的每一个工艺步骤本质上关乎器件价值的增长,这决定了人们要在执行下一步组装工艺之前进行元器件测试。例如,由于背光探测二极管失效导致整个激光二极管模组报废的成本,要远高于在组装前对光电二极管进行完全测试的成本。快速灵活的测试方案对于减小测试的成本至关重要。

 

在本文中,详细介绍了几种可以满足现今生产环境中高通量要求的、高成本效益的直流测试系统。

 

 

 

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