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质量流量控制器由放大控制电路、层流分层件、质量流量传感器和流量控制器调节阀等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。具有的特点：预热时间短，零漂小，稳定性高；管状分流，不易堵塞；热式原理，响应快，精度高；数字量输入/输出可使用流量计算机或二次表控制和显示流量；适用于不同的高压和低压管道。

质量流量控制器不受温度压力的影响，因采用热法原理毛细管传热前后温度差量测量气体的质量流量。然后将设定的电压与放大后的传感器所测得的流量信号进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。可应用在制气配气、玻璃行业、太阳能、大气监测、石油石化、环保、工业制作、煤炭冶金、不同仪器分析等等。