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质量流量控制器具备流量测量和流量控制两种功能，流量精度不受气体压力、环境温度影响。其原理是利用气流流过毛细管造成毛细管上下游温差从而检测、控制气体质量流量。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。那流量控制器的工作压差范围是什么概念呢？

质量流量控制器中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。用户使用流量控制器时，无论用户工作的反应室是高压还是真空，应做到使控制器进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，也要求气压要相对稳定。这是因为控制器的工作压差范围通常为0.1 ~ 0.3MPa，若压差高于0.3MPa，有可能关闭时流量不能小于2%F.S；若低于0.1 MPa，有可能控制达不到满量程值。

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