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质量流量控制器含分质量流量控制器流器通道和流量放大、流量传感器、电磁阀和P ID控制电路、线性化及温度补偿电路组成。

质量流量控制器传感器采用微机械加工技术，质量流量控制器实现微小流量测量；其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。

质量流量控制器使用注意：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上；需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态再操作；进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干净不能进水/油、杂质粉尘不超过20微米；安装前，请将设备管路进行整体吹扫。