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质量流量控制器一般由信号处理和传感器组成,而流量传感器又是一种基于科里奥利力效应的谐振式传感器。这种传感器的敏感元件一振动管,是处于谐振状态的空心金属管,又称测量管。
质量流量控制器的测量管有各种不同的结构形式,按照传感器测量管的数量可将其分为双管型、连续管和单管型型三种结构。大多数产品均采用这种结构双管型结构,这种结构容易实现相位差的测量,可以较好地克服外来振动的影响,并对提高振动系统的Q值有利。
连续管型是一种特殊形式的单管,它以环绕两圈的单管结构试图集单、双管型的优点于一身。
单管型结构简单,不存在分流问题,管路清洗方便。直管型一般外形尺寸小且不易于积存气体,但由于其振动系统刚度大,谐振频率高,相位差为微秒级,电信号的处理就比较困难。
以上为大家介绍了质量流量控制器的测量管的三种不同类型,希望能够帮助到大家。
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