质量流量控制器在测量介质的时在正常流量下，测量误差通常在满量程的1-2％范围内。若是处于热量输入是恒定的位置，将会局限控制器检测小的温差的能力，从而导致仪表的精度和量程比都会下降；若质量流量控制器在恒温差模式下运行，则可提供较高的量程比。

质量流量控制器可用于调节低气流。其基本组件包括两个温度传感器和一个位于它们之间的电加热器。其中加热器可以位于管道外部，也可以伸入流体流中。它们的运行方式是将探头保持在恒定温度下并测量这样做所需的能量，或者将已知量的热量引入流动的流中并测量相关的温度变化。

质量流量控制器传感器可用于高压和高温设计，以及包括玻璃，蒙乃尔合金和PFA在内的特殊材料。旁通和探头式设计则可以检测管道，干燥机中和火炬烟囱的大流量；流通式设计用于测量纯净物质的小流量，如果是纯净气体，则热容量恒定。