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质量流量控制器采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于MOCVD使用的金属氧化物气体和三氯化硼、三溴化硼、氟化氢等强腐蚀性气体建议好采用金属密封的MFC。

质量流量控制器注意以下：

1：怕液体和油污进入MFC，会造成失控，如果质量流量控制器的出口接有液体罐，为避免液体回流需要在质量流量控制器出口加上单向阀；

2：怕使用潮湿的腐蚀性气体，潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈，造成质量流量控制器通道损坏，因此要求在使用腐蚀性气体前，要对管路系统和气体进行干燥处理。

3：怕粉尘，若粉尘进入质量流量控制器会堵塞传感器和分流器，造成测量误差，要求在进气口前加装过滤器。

质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理，测量气体的质量流量。是由分流器通道、流量传感器、放大控制器和流量调节阀门等部分组成。