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质量流量控制器是一种可以控制气体质量并且测量液体的一种装置，由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与它配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。

　质量流量控制器的工作原理是利用热传导原理来计算流量，由气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个检测温度，另一个作为加热器。这两个元件和流量计内的电路组成一个温控系统，该温控系统保持温度检测元件和加热器之间的温度值恒定。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系，来反映气体的流量。由气体流动产生的温度与恒定传感器温度的恒定温度差，确定加热功率，根据热效应定律，得出加热功率，温度差与质量流量的公式，从而计算流量。另外由于气体的体积会受温度、压力等参数的影响，用体积流量表示流量大小时需给出介质的参数。如果介质参数不断变化，会造检测失真。